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高純氦氣根據GB/T 4844-2011具體指標
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高純氦氣根據GB/T 4844-2011具體指標如下:
氦氣(He)純度(體積分數)/10^-2 ≥99.999
氖氣(Ne)含量(體積分數)/10^-6 <4
氫氣(H2)含量(體積分數)/10^-6 <1
(氧氣(O2)+氬(Ar))含量(體積分數)/10^-6 <1
氮氣(N2)含量(體積分數)/10^-6 <2
一氧化碳(CO)含量(體積分數)/10^-6 <0.5
二氧化碳(CO2)含量(體積分數)/10^-6 <0.5
甲烷(CH4)含量(體積分數)/10^-6 <0.5
水分(H2O)含量(體積分數)/10^-6 <3
總雜質含量(體積分數)/10^-6 <10。文章來源高純氦氣http://www.reschreiter.cn/。
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